當(dāng)工件與研具作高速相對運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于拋光液的流體動(dòng)壓效應(yīng)使工件微量浮起與研具脫離接觸，液膜中的微細(xì)軟磨料與工件外層表面的原子相互擴(kuò)散，降低了工件最外層表面的原子結(jié)合能，因而能被磨粒粒子沖擊去除，達(dá)到光整工件表面而又不致產(chǎn)生表層晶體的錯(cuò)位。雖其加工效率較低，但是一種可獲得極高的平面度，而又沒有端面塌邊和變形缺陷的高表面質(zhì)量的超精密加工方法。